罗茨真空机组气量不够，这种故障的发生使泵不能充分发挥其效率，不能满足工艺要求。这种故障的原因可能是：泵的转速不够、连接处漏气、环境温度过高等因素，处理方法如下：
如果罗茨真空机组的转速不够，而泵送能力与泵的转速成正比，泵的泵送能力就会下降，有两种情况：一种是泵的转速配备不合适，即滑轮直径不合适，也就是速比不合适，可以更换滑轮，改变滑轮直径；另一种是皮带安装不当，没有张力皮带打滑，从而降低转速，可以调整罗茨真空机组位置，使皮带有一定的拉力。
密封不严进气管道或轴封连接处漏气也会出现这种情况，找出漏气的地方，根据具体情况进行处理。如果连接法兰泄漏，可能是因为连接螺丝松动，垫片被压坏变质，或者法兰面加工不均匀。如果轴封处漏气，可能是密封杯安装不正确或裂开。此时，更换密封杯并正确安装，如果密封了填料，可以拔出堵塞的填料，用新的替换它，然而，填料的接缝应倾斜并相互搭接，头一个圆的界面需要与二个圆的界面错开，不能在罗茨真空机组的同一位置。
由实践得知，环境温度升高则罗茨真空机组抽气量就会降低。针对这种情况，尽量将注入水温降低。
